UTW系列-维易尔半导体设备有限公司,半导体专用设备的研发、制造高科技企业

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TEL原装系列设备 UTW系列半导体温湿度控制设备半导体设备改造半导体设备精密配件加工

UTW-DQ

单匀胶或显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体的便捷、高效、环保的实验设备。

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UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆

最小线宽精度90nm

安装效率高，减少交付等待时间

故障提示清晰，减少故障查找时间

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UTW-3000

适用晶圆规格：8-12寸晶圆

最小线宽精度45nm

Windows HMI 界面，权限管理提高设备安全性及运行可靠性

触摸屏操作，简单直观

母子菜单模式，切换自如

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UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆

最小线宽精度180nm

采用整体叠层布局，可靠性高

满足多种功能芯片制程需求

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UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆

最小线宽精度350nm

采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护

采用主流配件，减少宕机配件等待时间

改造性强，可进行定制化服务

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