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首页 -产品中心-UTW系列匀胶显影设备
UTW系列匀胶显影设备 TEL原装系列设备 半导体温湿度控制设备 半导体设备改造 半导体设备精密配件加工
UTW-2000A

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求
产品介绍
►适用晶圆规格：4-8寸

►最小线宽尺寸：180nm

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►适用工艺：I line,PI,PR

►WPH：≤160pcs

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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