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首页 -产品中心-UTW系列匀胶显影设备
UTW系列匀胶显影设备 TEL原装系列设备 半导体温湿度控制设备 半导体设备改造 半导体设备精密配件加工
UTW-DQ

UTW-DQ

单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。
可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。
产品介绍

►适用晶圆规格：2-12寸

►MTTR：1hrs


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