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首页 -产品中心-UTW系列匀胶显影设备
UTW系列匀胶显影设备 TEL原装系列设备 半导体温湿度控制设备 半导体设备改造 半导体设备精密配件加工
UTW-2000Z

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆
最小线宽精度90nm
安装效率高，减少交付等待时间
故障提示清晰，减少故障查找时间
产品介绍
►适用晶圆规格： 6-8寸

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►适用工艺：I line,KrF,ArF,PI,PR,Package

►最小线宽尺寸：90nm

►WPH：≤180pcs

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择
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