卓越的品质源自我们不懈的追求，我们精益求精，只做精品
单匀胶或显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体的便捷、高效、环保的实验设备。
适用晶圆规格：6-8寸晶圆最小线宽精度90nm安装效率高，减少交付等待时间故障提示清晰，减少故障查找时间
适用晶圆规格：8-12寸晶圆最小线宽精度45nmWindows HMI 界面，权限管理提高设备安全性及运行可靠性触摸屏操作，简单直观>母子菜单模式，切换自如
适用晶圆规格：4-8寸晶圆最小线宽精度180nm采用整体叠层布局，可靠性高满足多种功能芯片制程需求
适用晶圆规格：2-6寸晶圆最小线宽精度350nm采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护采用主流配件，减少宕机配件等待时间改造性强，可进行定制化服务
多通道冷却液体温度循环控制柜
水冷式冷水机
16CH温度监测与控制系统
B型供给风量T&H
A型供给风量 T&H
根据客户生产的异形晶圆将设备进行改造
加工各种半导体工艺设备配件，主要材料有：铝、铁、铜、陶瓷、不锈钢等，可承揽来图加工。
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