UTW系列-维易尔半导体设备有限公司,半导体专用设备的研发、制造高科技企业

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TEL原装系列设备 UTW系列半导体温湿度控制设备半导体设备改造半导体设备精密配件加工

UTW-2000Z

生产范围：6-8寸晶片

最小线宽精度90nm

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UTW-3000

生产范围：8-12寸晶片

最小线宽精度45nm

Windows HMI 界面

权限管理提高设备安全性，运行可靠性

触摸屏操作，简单直观

母子菜单模式，切换自如

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UTW-2000A

生产范围：4-8寸晶片

最小线宽精度180nm

采用整体叠层布局，可靠性高

满足多种功能芯片制程需求

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UTW-1500

生产范围：2-6寸晶片

最小线宽精度350nm

采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护

采用主流配件，减少宕机配件等待时间

改造性强，可进行定制化服务

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