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UTW-2000Z
生产范围:6-8寸晶片
最小线宽精度90nm
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UTW-3000
生产范围:8-12寸晶片
最小线宽精度45nm
Windows HMI 界面
权限管理提高设备安全性,运行可靠性
触摸屏操作,简单直观
母子菜单模式,切换自如
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UTW-2000A
生产范围:4-8寸晶片
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局,可靠性高
满足多种功能芯片制程需求
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UTW-1500
生产范围:2-6寸晶片
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局,结构紧凑,易于维护
采用主流配件,减少宕机配件等待时间
改造性强,可进行定制化服务
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