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半导体设备冷热盘

半导体设备冷热盘

6-12寸
产品介绍
·冷盘温度：16-30℃,±0.1℃
·热盘温度：50-350℃
                      50.1-120℃±0.2℃
                    120.1-150℃±0.4℃
                    150.1-200℃±0.6℃
                    200.1-300℃±1.5℃
                    300.1-350℃±2.5℃

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