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UTW-2000Z

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆

最小线宽精度90nm

安装效率高，减少交付等待时间

故障提示清晰，减少故障查找时间


产品介绍
►适用晶圆规格： 6-8寸

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►最小线宽尺寸：90nm

►WPH：≤180pcs

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择
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