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UTW-2000Z

UTW-2000Z

生产范围：6-8寸晶片
最小线宽精度90nm

产品介绍
►晶片尺寸： 6-8寸

►FOUP：放置晶片盒4个OPEN CASSETTE & SIMF 

►最小线宽尺寸：90nm

►WPH：最高100pcs(根据recipe不同而有所不同)

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择
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