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UTW-3000

UTW-3000

生产范围：8-12寸晶片
最小线宽精度45nm
Windows HMI 界面
权限管理提高设备安全性，运行可靠性
触摸屏操作，简单直观
母子菜单模式，切换自如
产品介绍
►晶片尺寸： 8-12寸

►FOUP：放置晶片盒4个OPEN CASSETTE & SIMF 

►最小线宽尺寸：45nm

►WPH：最高100pcs(根据recipe不同而有所不同)

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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