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TEL原装系列设备 UTW系列 半导体温湿度控制设备 半导体设备改造 半导体设备精密配件加工
UTW-3000

UTW-3000

适用晶圆规格：8-12寸晶圆

最小线宽精度45nm

Windows HMI 界面，权限管理提高设备安全性及运行可靠性

触摸屏操作，简单直观

母子菜单模式，切换自如
产品介绍
►适用晶圆规格：8-12寸

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►最小线宽尺寸：45nm

►WPH：≤200pcs

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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