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UTW-2000A

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆

最小线宽精度180nm

采用整体叠层布局，可靠性高

满足多种功能芯片制程需求


产品介绍
►适用晶圆规格：4-8寸

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►最小线宽尺寸：180nm

►WPH：≤160pcs

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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