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UTW-1500

UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆

最小线宽精度350nm

采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护

采用主流配件，减少宕机配件等待时间

改造性强，可进行定制化服务
产品介绍
►晶片尺寸：2- 6寸

►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC

►最小线宽尺寸：350nm

►WPH：≤160pcs

►uptime：≥95%  (不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF： ≥1000hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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